当前位置:首页 > 国家标准 > GB/T 37049-2018

GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 37049-2018标准基本信息

标准名称:电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标准号:GB/T 37049-2018

发布日期:2018-12-28

实施日期:2019-04-01

中国标准分类:H17

国际标准分类:77 冶金,77.040 金属材料试验,77.040.30 金属材料化学分析

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

江苏中能硅业科技发展有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、有研半导体材料有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司。

GB/T 37049-2018预览图:

GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定  电感耦合等离子体质谱法

声明:资源收集自用户分享或网络,仅为个人学习参考使用,如侵犯您的权益,请联系我们处理。

不能下载?报告错误