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GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 26068-2018标准基本信息

标准名称:硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法

标准号:GB/T 26068-2018

发布日期:2018-12-28

实施日期:2019-11-01

全部代替标准:GB/T 26068-2010

中国标准分类:H21

国际标准分类:77 冶金,77.040 金属材料试验

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

有研半导体材料有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司、中国计量科学研究院、浙江省硅材料质量检验中心、广州市昆德科技有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司。

GB/T 26068-2018预览图:

GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试  非接触微波反射光电导衰减法

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