GB/T 37213-2018标准基本信息
标准名称:硅晶锭尺寸的测定 激光法
标准号:GB/T 37213-2018
发布日期:2018-12-28
实施日期:2019-11-01
中国标准分类:H21
国际标准分类:77 冶金,77.040 金属材料试验
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《硅晶锭尺寸的测定 激光法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
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