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GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 38446-2020标准基本信息

标准名称:微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

标准号:GB/T 38446-2020

发布日期:2020-03-06

实施日期:2020-10-01

中国标准分类:L55

国际标准分类:31 电子学,31.200 集成电路、微电子学

归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。

GB/T 38446-2020预览图:

GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

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