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GB/T 11297.6-1989 锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 11297.6-1989标准基本信息

标准名称:锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法

标准号:GB/T 11297.6-1989

发布日期:1989-03-31

实施日期:1990-01-01

中国标准分类:L32

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

电子十一所。

GB/T 11297.6-1989预览图:

GB/T 11297.6-1989 锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法

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