GB/T 40577-2021标准基本信息
标准名称：集成电路制造设备术语
标准号：GB/T 40577-2021
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
中国标准分类：L95
国际标准分类：31 电子学，31.220 电子电信设备用机电元件
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《集成电路制造设备术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中国电子技术标准化研究院、浙江晶盛机电股份有限公司、中电科电子装备集团有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、江苏卓远半导体有限公司。
GB/T 40577-2021预览图：
