GB/T 21287-2021标准基本信息
标准名称：电子特气 三氟化氮
标准号：GB/T 21287-2021
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
全部代替标准：GB/T 21287-2007
中国标准分类：G86
国际标准分类：71 化工技术，71.100 化工产品，71.100.20 工业气体
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《电子特气 三氟化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
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GB/T 21287-2021预览图：
