GB/T 40566-2021标准基本信息
标准名称：流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
标准号：GB/T 40566-2021
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
中国标准分类：H82
国际标准分类：29 电气工程，29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
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GB/T 40566-2021预览图：
