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GB/T 1551-2021 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 1551-2021标准基本信息

标准名称:硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法

标准号:GB/T 1551-2021

发布日期:2021-05-21

实施日期:2021-12-01

全部代替标准:GB/T 1551-2009

中国标准分类:H21

国际标准分类:77 冶金,77.040 金属材料试验

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

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GB/T 1551-2021预览图:

GB/T 1551-2021 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法

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