GB/T 41153-2021标准基本信息
标准名称：碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
标准号：GB/T 41153-2021
发布日期：2021-12-31
实施日期：2022-07-01
中国标准分类：H17
国际标准分类：77 冶金，77.040 金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山东天岳先进科技股份有限公司。
GB/T 41153-2021预览图：
