GB/T 13388-1992标准基本信息
标准名称：硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法
标准号：GB/T 13388-1992
发布日期：1992-02-19
实施日期：1992-10-01
被代替日期：2010-06-01
中国标准分类：H21
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
北京有色金属研究总院。
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