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GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 13389-1992标准基本信息

标准名称:掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

标准号:GB/T 13389-1992

发布日期:1992-02-19

实施日期:1992-10-01

中国标准分类:H21

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

峨嵋半导体材料研究所。

GB/T 13389-1992预览图:

GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

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