GB/T 13389-1992标准基本信息
标准名称：掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
标准号：GB/T 13389-1992
发布日期：1992-02-19
实施日期：1992-10-01
中国标准分类：H21
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
峨嵋半导体材料研究所。
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