GB/T 13843-1992标准基本信息
标准名称：蓝宝石单晶抛光衬底片
标准号：GB/T 13843-1992
发布日期：1992-12-28
实施日期：1993-08-01
废止日期：2017-12-15
中国标准分类：L90
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《蓝宝石单晶抛光衬底片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
天津半导体技术研究所。
GB/T 13843-1992预览图：
