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GB/T 14143-1993 300~900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 14143-1993标准基本信息

标准名称:300~900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法

标准号:GB/T 14143-1993

发布日期:1993-02-06

实施日期:1993-10-01

被代替日期:2006-12-31

中国标准分类:H26

归口单位:中国有色金属工业协会

执行单位:中国有色金属工业协会

主管部门:中国有色金属工业协会

国家标准《300~900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法》由610(中国有色金属工业协会)归口上报及执行,主管部门为中国有色金属工业协会。

机电部第四十六研究所。

GB/T 14143-1993预览图:

GB/T 14143-1993 300~900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法

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