GB/T 14143-1993标准基本信息
标准名称:300~900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
标准号:GB/T 14143-1993
发布日期:1993-02-06
实施日期:1993-10-01
被代替日期:2006-12-31
中国标准分类:H26
归口单位:中国有色金属工业协会
执行单位:中国有色金属工业协会
主管部门:中国有色金属工业协会
国家标准《300~900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法》由610(中国有色金属工业协会)归口上报及执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
机电部第四十六研究所。
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