GB/T 14140.1-1993标准基本信息
标准名称：硅片直径测量方法 光学投影法
标准号：GB/T 14140.1-1993
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
被代替日期：2010-06-01
中国标准分类：H21
国际标准分类：77 冶金，77.040 金属材料试验，77.040.01 金属材料试验综合
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅片直径测量方法 光学投影法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
洛阳单晶硅厂。
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