GB/T 14603-1993标准基本信息
标准名称:电子工业用气体 三氟化硼
标准号:GB/T 14603-1993
发布日期:1993-08-26
实施日期:1994-07-01
被代替日期:2010-05-01
中国标准分类:G86
国际标准分类:71 化工技术,71.100 化工产品,71.100.20 工业气体
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《电子工业用气体 三氟化硼》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
化工部西南化工研究院。
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