GB/T 14847-1993标准基本信息
标准名称：重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
标准号：GB/T 14847-1993
发布日期：1993-12-30
实施日期：1994-09-01
被代替日期：2011-10-01
中国标准分类：H21
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
机电部四十六所。
GB/T 14847-1993预览图：
