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YS/T 34.1-2011 高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定高纯砷中杂质含量

下载格式:pdf标准分类:行业标准

YS/T 34.1-2011标准基本信息

标准名称:高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定高纯砷中杂质含量

标准号:YS/T 34.1-2011

发布日期:2011-12-20

实施日期:2012-07-01

制修订:修订

代替标准:YS/T 34.1-1992;YS/T 34.2-1992

中国标准分类:H17

国际标准分类:77.040.30

技术归口:全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:无

标准类别:无

起草单位:峨嵋半导体材料厂、峨嵋山嘉美高纯材料有限公司

起草人:程高明、邹同贵 等

YS/T 34.1-2011预览图:

YS/T 34.1-2011 高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定高纯砷中杂质含量

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