SJ/T 11504-2015标准基本信息
标准名称：碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
标准号：SJ/T 11504-2015
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
制修订：制定
中国标准分类：H83
国际标准分类：29.045
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
标准类别：方法标准
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：丁丽、周智慧、蔺娴 等
SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
下载格式：pdf标准分类：行业标准
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