SJ/T 11517-2015标准基本信息
标准名称：电子工业用气体 一氧化碳
标准号：SJ/T 11517-2015
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
制修订：制定
中国标准分类：G86
国际标准分类：71.100.20
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
标准类别：产品标准
起草单位：西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、广东华南特种气体研究所有限公司等
起草人：万华、王新鹏、吴平修 等