SJ/T 11507-2015标准基本信息
标准名称：集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液
标准号：SJ/T 11507-2015
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
制修订：制定
中国标准分类：L90
国际标准分类：31.030
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
标准类别：产品标准
起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：戈士勇、何珂、王周霞 等
SJ/T 11507-2015预览图：
