YS/T 1031-2015标准基本信息
标准名称：化学气相沉积炉
标准号：YS/T 1031-2015
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
制修订：制定
中国标准分类：H91
国际标准分类：77.180.
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
标准类别：产品标准
起草单位：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等
起草人：戴煜、 胡祥龙、 胡高健等
本标准适用于化学气相沉积。
YS/T 1031-2015预览图：
