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YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材

下载格式:pdf标准分类:行业标准

YS/T 1053-2015标准基本信息

标准名称:电子薄膜用高纯钴靶材

标准号:YS/T 1053-2015

发布日期:2015-04-30

实施日期:2015-10-01

制修订:制定

中国标准分类:H62

国际标准分类:77.150.70

技术归口:全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:制造业

标准类别:产品标准

起草单位:宁波江丰电子材料股份有限公司,有研亿金新材料有限公司

起草人:王学泽、李勇军、郑文翔等

本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。

YS/T 1053-2015预览图:

YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材

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