SJ/T 11554-2015标准基本信息
标准名称：用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量
标准号：SJ/T 11554-2015
发布日期：2015-10-10
实施日期：2016-04-01
制修订：制定
中国标准分类：L90
国际标准分类：31.030
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
标准类别：方法标准
起草单位：苏州晶瑞化学有限公司、同济大学、工业和信息化部电子工业标准化研究院等
起草人：刘兵、钱森林、王洪华 等
SJ/T 11554-2015预览图：
