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YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

下载格式:pdf标准分类:行业标准

YS/T 23-2016标准基本信息

标准名称:硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

标准号:YS/T 23-2016

发布日期:2016-04-05

实施日期:2016-09-01

制修订:修订

代替标准:YS/T 23-1992

中国标准分类:H21

国际标准分类:77.040

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:制造业

标准类别:方法标准

起草单位:

起草人:

YS/T 23-2016预览图:

YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

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