YS/T 23-2016标准基本信息
标准名称：硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
标准号：YS/T 23-2016
发布日期：2016-04-05
实施日期：2016-09-01
制修订：修订
代替标准：YS/T 23-1992
中国标准分类：H21
国际标准分类：77.040
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
标准类别：方法标准
起草单位：
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YS/T 23-2016预览图：
YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
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