SJ/T 11576-2016标准基本信息
标准名称：喷雾式涂覆设备通用规范
标准号：SJ/T 11576-2016
发布日期：2016-01-15
实施日期：2016-06-01
制修订：制定
中国标准分类：L95
国际标准分类：31.550
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
标准类别：产品标准
起草单位：沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：贺立波、徐春旭、汪明波 等
SJ/T 11576-2016预览图：
