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SJ/T 3328.5-2016 电子产品用高纯石英砂 第5部分 铁的测定

下载格式:pdf标准分类:行业标准

SJ/T 3328.5-2016标准基本信息

标准名称:电子产品用高纯石英砂 第5部分 铁的测定

标准号:SJ/T 3328.5-2016

发布日期:2016-01-15

实施日期:2016-06-01

制修订:修订

代替标准:SJ 3228.5-1989

中国标准分类:L90

国际标准分类:31.030

技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:无

标准类别:产品标准

起草单位:工业和信息化部电子工业标准化研究院、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所

起草人:许振午、栾振祥、程尚栩 等

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