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SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法

下载格式:pdf标准分类:行业标准

SJ/T 31080-2016标准基本信息

标准名称:光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法

标准号:SJ/T 31080-2016

发布日期:2016-01-15

实施日期:2016-06-01

制修订:修订

代替标准:SJ/T 31080-1994

中国标准分类:L01

国际标准分类:31.550

技术归口:中国电子技术标准化研究院

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:无

标准类别:产品标准

起草单位:中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所

起草人:张倩、石少青、辛士卓 等

SJ/T 31080-2016预览图:

SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法

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