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SJ/T 11637-2016 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则

下载格式:pdf标准分类:行业标准

SJ/T 11637-2016标准基本信息

标准名称:电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则

标准号:SJ/T 11637-2016

发布日期:2016-10-22

实施日期:2017-01-01

制修订:制定

中国标准分类:L90

国际标准分类:31.030

技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:无

标准类别:方法标准

起草单位:杭州格林达化学份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人:尹云航、陈玉英、周利超 等

SJ/T 11637-2016预览图:

SJ/T 11637-2016 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则

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