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YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法

下载格式:pdf标准分类:行业标准

YS/T 1392-2020标准基本信息

标准名称:氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法

标准号:YS/T 1392-2020

发布日期:2020-12-09

实施日期:2021-04-01

制修订:制定

中国标准分类:H17

国际标准分类:77.04

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:制造业

标准类别:方法标准

起草单位:

起草人:

本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围(体积分数):二氯二氢硅为0.01 %~20 %,三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %~100 %。

YS/T 1392-2020预览图:

YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定  气相色谱法

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