YS/T 1392-2020标准基本信息
标准名称:氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法
标准号:YS/T 1392-2020
发布日期:2020-12-09
实施日期:2021-04-01
制修订:制定
中国标准分类:H17
国际标准分类:77.04
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:制造业
标准类别:方法标准
起草单位:
起草人:
本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围(体积分数):二氯二氢硅为0.01 %~20 %,三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %~100 %。
YS/T 1392-2020预览图: