SJ 21128-2016标准基本信息
标准名称:卧式等离子体化学气相淀积设备(PECVD)通用规范
标准号:SJ 21128-2016
英文名称:General specification for horizontalplasma enhanced chemical vapor deposition equipment
发布部门:科技工业局
发布日期:2016-01-19
实施日期:2016-03-01
SJ 21128-2016预览图:
SJ 21128-2016标准基本信息
标准名称:卧式等离子体化学气相淀积设备(PECVD)通用规范
标准号:SJ 21128-2016
英文名称:General specification for horizontalplasma enhanced chemical vapor deposition equipment
发布部门:科技工业局
发布日期:2016-01-19
实施日期:2016-03-01
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