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SJ 21261-2018 MEMS 惯性器件结构设计要求

下载格式:pdf标准分类:行业标准

SJ 21261-2018标准基本信息

标准名称:MEMS 惯性器件结构设计要求

标准号:SJ 21261-2018

英文名称:Structural design requirements for MEMS inertial device

发布部门:科技工业局

发布日期:2018-01-18

实施日期:2018-05-01

SJ 21261-2018预览图:

SJ 21261-2018 MEMS 惯性器件结构设计要求

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