YS/T 987-2021标准基本信息
标准名称：氯硅烷中碳含量的测定？气相色谱质谱联用法
本文件适用于氯硅烷中碳杂质（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷）含量的测定，测定范围（质量分数）为0.000 010%～0.10%。
标准号：YS/T 987-2021
发布日期：2021-12-02
实施日期：2022-04-01
制修订：修订
代替标准：YS/T 987-2014
中国标准分类：H17
国际标准分类：77.040.30
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
标准类别：方法标准
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