JJF 1932-2021标准基本信息
标准名称：椭偏仪校准规范
标准号：JJF 1932-2021
英文名称：Calibration Specification for Ellipsometers
发布部门：国家市场监督管理总局
发布日期：2021-12-08
实施日期：2022-06-08
标准状态：现行/即将实施
文件格式：PDF
起草单位：中国计量科学研究院、中国兵器工业第二〇五研究所
起草人员：刘文德、陈赤、王雷
本规范适用于波长范围在250 nm～2 000 nm内的椭偏仪的校准。
JJF 1932-2021预览图：
