GB/T 30656-2023标准基本信息
标准名称：碳化硅单晶抛光片
标准号：GB/T 30656-2023
发布日期：2023-03-17
实施日期：2023-10-01
全部代替标准：GB/T 30656-2014
标准类别：产品
中国标准分类号：H83
国际标准分类号：29 电气工程，29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《碳化硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 北京天科合达半导体股份有限公司、中国科学院物理研究所、南京国盛电子有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司。
主要起草人 陈小龙 、彭同华 、佘宗静 、王波 、刘春俊 、李素青 、郭钰 、娄艳芳 、郑红军 、杨建 、骆红 、钮应喜 。
