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GB/T 24469-2009 电子工业用气体 5N氯化氢

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电子工业用气体 5N氯化氢(GB/T 24469-2009)已被代替

本标准规定了电子工业用气体5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。读者对象:半导体材料和设备标准、技术、管理、营销等相关人员。

电子工业用气体  5N氯化氢

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