GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨

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电子工业用气体氨（GB/T 14601-2009）

本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。分子式：NH3。相对分子质量：17.031（按2005年国际相对原子质量）。读者对象：半导体材料和设备标准、技术、管理、营销等相关人员。