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GB/T 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

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纳米级长度的扫描电镜测量方法通则(GB/T 20307-2006)

本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10nm~500nm的点或线的间距。读者对象:电子与物理光学仪器测量及检测技术部门及人员。

纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

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