半导体材料术语（GB/T 14264-2024）
本文件界定了半导体材料的一般术语和定义，材料制备与工艺及缺陷的术语和定义，以及缩略语。本文件适用于半导体材料的研发、生产、制备及相关领域。
GB/T 14264-2024 半导体材料术语
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