电工术语 微机电装置（GB/T 2900.104-2021）
本文件界定了微机电装置的通用、科学与工程、材料科学、功能元素、加工技术、键合装配技术、测量技术和应用相关术语。本文件适用于微机电技术领域。
GB/T 2900.104-2021 电工术语 微机电装置
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