GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定二次离子质谱法

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碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定二次离子质谱法（GB/T 41153-2021）

本文件规定了碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的二次离子质谱测试方法。本文件适用于碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的定量分析，测定范围为硼含量不小于5×1013cm-3、铝含量不小于5×1013cm-3、氮含量不小于5×1015cm-3，元素浓度(原子个数百分比)不大于1%。