碳化硅单晶位错密度的测试方法（GB/T 41765-2022）
本文件规定了碳化硅单晶位错密度的测试方法。本文件适用于晶面偏离{0001}面、偏向〈112-0〉方向0°～8°的碳化硅单晶位错密度的测试。
GB/T 41765-2022 碳化硅单晶位错密度的测试方法
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