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GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

该资料仅供参考使用,勿用于任何商业用途,使用请以正式版为准。

GB/T 36969-2018标准基本信息

标准名称:纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

标准号:GB/T 36969-2018

发布日期:2018-12-28

实施日期:2018-12-28

中国标准分类:J04

国际标准分类:17 计量学和测量、物理现象,17.040 长度和角度测量,17.040.20 表面特征

归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会

执行单位:全国纳米技术标准化技术委员会

主管部门:中国科学院

国家标准《纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。

上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。

纳米技术  原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

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