MEMS矢量水听器及其应用张国军 (2017版)

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内容简介水听器作为声呐系统的核心部件，直接影响到声呐的性能。20世纪晚期出现的矢量水听器可以同步共点地获得声场的声压和振速等信息，单只水听器即可解决水下声目标线阵声呐左右舷模糊的难题，因而成为当前水下换能器领域发展的重要方向。20世纪70年代发展起来的MEMS技术因具有“3微”的特点，在传感器领域得以迅猛发展，并逐年提高其市场占有份额，然而将MEMS技术应用于水听器在国内外尚不多见。《MEMS矢量水听器及其应用》系统地论述MEMS矢……