MEMS技术及应用蒋庄德 (2018版)

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内容简介《MEMS技术及应用/机械工程前沿著作系列·先进制造科学与技术丛书》讨论的主题是微机电系统（MEMS）这一前沿交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面：结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述，并随之对MEMS的典型应用进行分类介绍，为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。作为对主体内容的补充和延伸，纳机电系统（NEMS）和石墨烯在《MEMS技术及应用/机械工程前沿著作系列·先进制造科学与技术丛书》的结尾部分被予以专门的讨论……