T/ZZB 0093-2016标准基本信息
标准名称：集成电路用高纯钛溅射靶材
标准编号：T/ZZB 0093-2016
英文标题：High-purity sputtering titanium target used in integrated circuit
国际标准分类号：77.150.50钛产品
中国标准分类号：H64 稀有轻金属及其合金
国民经济分类：C419 其他未列明制造业
发布日期：2016年09月10日
实施日期：
起草单位：本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制订。本标准主要起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司。本标准参与起草单位：宁波创润新材料有限公司。