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T/IAWBS 003-2017 碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法

下载格式:pdf标准分类:团体标准

T/IAWBS 003-2017标准基本信息

标准名称:碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法

标准编号:T/IAWBS 003—2017

国际标准分类号:29.045

国民经济分类:C398 电子元件及电子专用材料制造

发布日期:2017年12月20日

实施日期:2017年12月31日

起草人:冯淦、陈志霞、钮应喜、张新河、李赟、陆敏、彭同华、刘振洲

起草单位:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、全球能源互联网研究院、东莞天域半导体科技有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、中国电子科技集团公司第五十五研究所

T/IAWBS 003-2017预览图:

T/IAWBS 003-2017 碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法

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