T/BSPT 001-2018标准基本信息
标准名称：微纳加工 基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构加工方法
标准编号：T/BSPT 001—2018
英文标题：Micro/nanofabrication Large-area Surface Three-dimensional Micro/nanostructure Fabrication Method Based on Laser-induced Strain
国际标准分类号：19.020
国民经济分类：M731 自然科学研究和试验发展
发布日期：2018年06月20日
实施日期：2018年07月01日
起草人：刘前、张浩然、郭传飞、葛广路
起草单位：国家纳米科学中心，南方科技大学
范围：本标准规定了基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构加工方法。本标准适用于在晶元级表面上，利用激光诱导调控多层膜体系的应变结构，设计并制备各种表面三维微纳结构。
T/BSPT 001-2018预览图：
