T/CEMIA 006-2018标准基本信息
标准名称：膜厚监控用石英晶振片
标准状态：现行
标准编号：T/CEMIA 006—2018
中文标题：膜厚监控用石英晶振片
英文标题：Quartz crystal resonator for film thickness control
国际标准分类号：31.140
中国标准分类号：L 21 石英晶体
国民经济分类：C419 其他未列明制造业
发布日期：2018年12月14日
实施日期：2019年03月14日
起草人：王丽娟、毛晶、张立强、宫桂英、李健德、李剑、李洁、陈中康、张翔
起草单位：唐山万士电子有限公司、武汉海创电子股份有限公司，唐山国芯晶源电子有限公司、北京晨晶电子有限公司，江苏省东海硅产业科技创新中心。
范围：本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。
是否包含专利信息：否