T/CASAS 004.2-2018标准基本信息
标准名称：4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱
标准编号：T/CASAS 004.2—2018
英文标题：The Metallographs Collection for Defects in both 4H-SiC Substrates and Epilayers
国际标准分类号：31.080.01半导体器分立件综合
国民经济分类：C398 电子元件及电子专用材料制造
发布日期：2018年11月20日
实施日期：2018年11月20日
起草人：孙国胜、杨霏、柏松、许恒宇、李诚瞻、高玉强、冯淦、胡小波、张乐年、房玉龙
起草单位：东莞市天域半导体科技有限公司、全球能源互联网研究院有限公司、中国电子科技集团公司第五十五研究所、中国科学院微电子研究所、株洲中车时代电气股份有限公司、山东天岳晶体材料有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、山东大学、台州市一能科技有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、深圳第三代半导体研究院。
T/CASAS 004.2-2018预览图：
